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激光共聚焦显微镜

简要描述:NanoFocus μsurf explorer精密测量、表面分析系统机台功能齐全,结构紧凑,性价比高,并拥有超高光学分辨率和Z全面广泛的三维表面形貌分析能力。NanoFocus激光共聚焦显微镜。 μsurf系列用来测量表面物理形貌,进行微纳米尺度的三维形貌分析,如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓(纵深、宽度、曲率、角度)、表面粗糙度等。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:其他
  • 更新时间:2022-01-05
  • 访  问  量:2028

详细介绍

  μsurf explorer精密测量、表面分析系统
 
  μsurf系列产品采用多孔共聚焦技术,结合CCD的影像摄取,以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞,再将物镜垂直移动,以类似断层摄影方式,可在短时间(约几秒)内精确量测物体的三维数据。其测量方式是非接触式,不会破坏样品的表面,不需要在真空环境下测量,也可以用显微镜测量的功能来观测样本,其在严酷的工作环境下,也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法,在测量渐变较大的高度时,跟其他方法相比,可以更精确量测物体高度,建立3D立体影像,优势相当明显。
 
  NanoFocus μsurf explorer精密测量、表面分析系统机台功能齐全,结构紧凑,性价比高,并拥有超高光学分辨率和zui全面广泛的三维表面形貌分析能力。
 
  激光共聚焦显微镜应用
 
  μsurf系列用来测量表面物理形貌,进行微纳米尺度的三维形貌分析,如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓(纵深、宽度、曲率、角度)、表面粗糙度等。
 
  精密部件:检测对表面磨损,表面粗糙度,表面微结构有要求的零部件,比如发动机汽缸、刀口等;
 
  生命科学:测量stents支架上镀层厚度等
 
  微电子机械系统:微型器件的检测,医药工程中组织结构的检测,如基因芯片等
 
  半导体:检测微型电子系统,封装及辅助产品结构设计
 
  太阳能:电池片栅线的3D形貌表征、高宽比测量,制绒后3D形貌表征(单晶金字塔大小、数量、角度,多晶腐蚀坑形貌、密度),粗糙度分析等
 
  纸张:纸张、钱币表面三维形貌测量
 
  激光共聚焦显微镜技术参数
 
  LED光源:λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h
 
  测量时间:5~10秒
 
  测量原理:非接触、共聚焦
 
  X/Y方向,平台移动范围:50mmX50mm,马达驱动,分辨率:0.3μm
 
  Z方向测量范围:250μm,分辨率:2nm
 
  物镜:10X、20X、50X、100X(可选)
 
  计算机:高性能计算机控制系统,功能全面的软件,有拼接功能,
 
  工作电源:100-240V, 50-60Hz, input<45W
 
  材质:钢铁、橡胶、大理石
 
  外型尺寸:710x270x330 mm (HxD)
 
  重量:28KG
 
  洁净室等级: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)
 
 

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